Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Tytuł pozycji:

Post-implantation defects instability under 1 MeV electron irradiation in GaAs

Tytuł:
Post-implantation defects instability under 1 MeV electron irradiation in GaAs
Autorzy:
Warchoł, S.
Rzewuski, H.
Krynicki, J.
Grötzschel, R.
Data publikacji:
2000
Wydawca:
Instytut Chemii i Techniki Jądrowej
Tematy:
electron annealing
GaAs
implantation
Źródło:
Nukleonika; 2000, 45, 4; 225-228
0029-5922
1508-5791
Język:
angielski
Prawa:
Wszystkie prawa zastrzeżone. Swoboda użytkownika ograniczona do ustawowego zakresu dozwolonego użytku
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
  Przejdź do źródła  Link otwiera się w nowym oknie
The influence of 1 MeV electron irradiation on the stability of post-implantation defects in GaAs has been investigated. The n-type GaAs wafers of <100> orientation were implanted with 150 keV As+ ions below the amorphization threshold at RT using the implantation dose of 2×1013 ions cm–2 at a constant flux of 0.1 žA cm–2. Then the implanted samples were irradiated with a scanned beam of 1 MeV electrons from a Van de Graaff accelerator in a dose range (0.5–5.0)×1017 cm–2 at 320 K. RBS and channeling spectroscopy of 1.7 MeV 4He+ ions were used to determine the depth distribution of defect concentration before and after 1 MeV irradiations. New results of an "oscillatory" behaviour of the damage level as a function of 1 MeV electron fluence are presented.

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies

Prześlij opinię

Twoje opinie są dla nas bardzo ważne i mogą być niezwykle pomocne w pokazaniu nam, gdzie możemy dokonać ulepszeń. Bylibyśmy bardzo wdzięczni za poświęcenie kilku chwil na wypełnienie krótkiego formularza.

Formularz