- Tytuł:
- White Beam Synchrotron Topographic Characterisation of Silicon Wafers Directly Bonded by Oxide Layer
- Autorzy:
-
Wierzchowski, W.
Wieteska, K.
Graeff, W.
Gawlik, G.
Pawłowska, M. - Data publikacji:
- 1999-08
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
61.10.Yh
68.35.-p - Źródło:
-
Acta Physica Polonica A; 1999, 96, 2; 283-288
0587-4246
1898-794X - Język:
- angielski
- Prawa:
- Wszystkie prawa zastrzeżone. Swoboda użytkownika ograniczona do ustawowego zakresu dozwolonego użytku
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
- Artykuł