- Tytuł:
- Comparative Studies of Surface Roughness of Thin Epitaxial Si Films by Computer Simulations and Experimental X-Ray and Optical Methods
- Autorzy:
-
Żymierska, D.
Auleytner, J.
Domagała, J.
Szewczyk, A.
Dmitruk, N. - Data publikacji:
- 1997-05
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
78.20.Ci
68.35.Bs
61.10.Dp - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł