- Tytuł:
- Quantum mechanical aspects in the MEMS/NEMS technology
- Autorzy:
-
Słowik, O.
Orłowska, K.
Kopiec, D.
Janus, P.
Grabiec, P.
Gotszalk, T. - Data publikacji:
- 2016
- Wydawca:
- Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
- Tematy:
-
MEMS
NEMS
OBD
FOI
quantum
force
resolution - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł