- Tytuł:
- Design and simulation analysis of an integrated xyz micro-actuator for controlling displacement of a scanning probe
- Autorzy:
-
Dang, Van Hieu
Le, Van Tam
Hane, Kazuhiro
Chu, Manh Hoang - Data publikacji:
- 2021
- Wydawca:
- Polskie Towarzystwo Mechaniki Teoretycznej i Stosowanej
- Tematy:
-
integrated xyz micro-actuator
mode cross-talk
mechanical coupling bridge
electrical isolation trench - Źródło:
-
Journal of Theoretical and Applied Mechanics; 2021, 59, 1; 143-156
1429-2955 - Język:
- angielski
- Prawa:
- CC BY-NC: Creative Commons Uznanie autorstwa - Użycie niekomercyjne 3.0 PL
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
- Artykuł