- Tytuł:
- Oxidation kinetics of silicon strained by silicon germanium
- Autorzy:
-
Grabowski, J.
Beck, R. B. - Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
oxidation
kinetics
modeling
silicon
silicon-germanium - Źródło:
-
Journal of Telecommunications and Information Technology; 2007, 3; 30-32
1509-4553
1899-8852 - Język:
- angielski
- Prawa:
- Wszystkie prawa zastrzeżone. Swoboda użytkownika ograniczona do ustawowego zakresu dozwolonego użytku
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
- Artykuł