- Tytuł:
- Review and perspective of high-k dielectrics on silicon
- Autorzy:
-
Hall, S.
Buiu, O.
Mitrovic, I. Z.
Lu, Y.
Davey, W. M. - Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
high-k dielectrics
dielectric constant
hafnia
interfacial layer
aluminates
silicates - Źródło:
-
Journal of Telecommunications and Information Technology; 2007, 2; 33-43
1509-4553
1899-8852 - Język:
- angielski
- Prawa:
- Wszystkie prawa zastrzeżone. Swoboda użytkownika ograniczona do ustawowego zakresu dozwolonego użytku
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
- Artykuł