- Tytuł:
- Effects of stress annealing on the electrical and the optical properties of MOS devices
- Autorzy:
-
Rzodkiewicz, W.
Kudła, A.
Rawicki, Z.
Przewłocki, H. M. - Data publikacji:
- 2005
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
stress
MOS
Si-SiO2 system
electrical parameters
refractive index - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł