- Tytuł:
- Properties and benefits of fluorine in silicon and silicon-germanium devices
- Autorzy:
-
Ashburn, P.
El Mubarek, H. A. W. - Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
bipolar transistor
boron diffusion
fluorine
passivation of interface states
polysilicon emitter - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł