- Tytuł:
- Modeling of Thermal Processing at the Formation of Shallow Doped IC Active Regions
- Autorzy:
-
Komarov, A.
Velichko, O.
Zayats, G.
Komarov, F.
Miskiewicz, S.
Mironov, A.
Makarevich, Yu. - Data publikacji:
- 2013-05
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
66.30.J-
07.05.Tp
07.05.Bx - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł