- Tytuł:
- Extra-Low Temperature Growth of ZnO by Atomic Layer Deposition with Diethylzinc Precursor
- Autorzy:
-
Kowalik, I. A.
Guziewicz, E.
Kopalko, K.
Yatsunenko, S.
Godlewski, M.
Wójcik, A.
Osinniy, V.
Krajewski, T.
Story, T.
Łusakowska, E.
Paszkowicz, W. - Data publikacji:
- 2007-08
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
78.55.Et
78.66.Hf
81.15.Kk - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł