- Tytuł:
- Investigation of degradation of electrical properties after thermal oxidation of p-type Cz-silicon wafers
- Autorzy:
-
Maoudj, M.
Bouhafs, D.
Bourouba, N.
Khelifati, N.
El Amrani, A.
Boufnik, R.
Hamida Ferhat, A. - Data publikacji:
- 2017-09
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
72.20.Jv
81.16.Pr
88.40.jj - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł