- Tytuł:
-
Właściwości fizyko-chemiczne cienkich warstw ZnO-In-O
Pysical and chemical properties thin films ZnO-In-O - Autorzy:
- Ziaja, J.
- Data publikacji:
- 2012
- Wydawca:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Elektrotechniki
- Tematy:
-
rozpylanie magnetronowe
cienkie warstwy
cynk
ind
magnetron sputtering
thin fims
zinc
indium - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł