- Tytuł:
-
Właściwości elektryczne i optyczne cienkich warstw WOx wytwarzanych metodą rozpylania magnetronowego i analiza ich współczynnika doskonałości
Electrical and optical properties of the WOx thin films, prepared by magnetron sputtering, and analysis of their highest value - Autorzy:
-
Dybała, Julia
Mazur, Michał - Data publikacji:
- 2022
- Wydawca:
- Wojskowa Akademia Techniczna im. Jarosława Dąbrowskiego
- Tematy:
-
rozpylanie magnetronowe
cienkie warstwy
tlenek wolframu
właściwości optyczne
właściwości elektryczne
magnetron sputtering
thin films
tungsten oxide
optical properties
electrical properties - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł