- Tytuł:
- Imaging and Patterning on Nanometer Scale Using Coherent EUV Light
- Autorzy:
-
Wachulak, P.
Marconi, M.
Menoni, C.
Rocca, J.
Fiedorowicz, H.
Bartnik, A. - Data publikacji:
- 2010-02
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
42.25.Hz
42.40.Ht
42.40.-i
42.55.Vc - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł