- Tytuł:
- Vacuum microdevices
- Autorzy:
-
Grzebyk, T.
Górecka-Drzazga, A. - Data publikacji:
- 2012
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
- Tematy:
-
vacuum microsystems
miniature vacuum pump
field-emission electron source
MEMS - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł