- Tytuł:
- Characterization of SOI fabrication process using gated-diode measurements and TEM studies
- Autorzy:
-
Gibki, J.
Kątcki, J.
Ratajczak, J.
Łukasik, L.
Jakubowski, A.
Tomaszewski, D. - Data publikacji:
- 2000
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
microelectronics
SOI technology
characterization - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł