- Tytuł:
-
Raman modular system with fibre-optic probes for remote monitoring of CVD process
Modułowy system ramanowski z sondami światłowodowymi do zdalnego monitorowania procesów CVD - Autorzy:
-
Gnyba, M.
Bogdanowicz, R.
Wroczyński, P. - Data publikacji:
- 2006
- Wydawca:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Eksploatacji - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
spektroskopia ramanowska
monitoring in-situ
sonda światłowodowa
CVD
cienka warstwa diamentowa
Raman spectroscopy
in-situ monitoring
fibre-optic probe
chemical vapour deposition
diamond thin film - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł