- Tytuł:
- Modeling, Simulation and Calibration of Silicon Wet Etching
- Autorzy:
-
Kociubiński, A.
Duk, M.
Bieniek, T.
Janus, P. - Data publikacji:
- 2009
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
anisotropic wet etching
KOH
silicon technology - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł