- Tytuł:
- Correlation between Copper Precipitation and Grown-In Oxygen Precipitates in 300 mm Czochralski Silicon Wafer
- Autorzy:
-
Dong, P.
Ma, X.
Yang, D. - Data publikacji:
- 2014-04
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
61.72.Ff
61.72.Ji
61.72.Qq
61.72.Yx
61.72.Cc - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł