- Tytuł:
- A note on optical materials for photolithography applications
- Autorzy:
-
Jain, A.
Roszkiewicz, A.
Nasalski, W. - Data publikacji:
- 2018
- Wydawca:
- Instytut Podstawowych Problemów Techniki PAN
- Tematy:
-
optical lithography
photoresist
graphene
photonic
fotolitografia
fotorezyst
grafen
fotonika - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł