- Tytuł:
-
Mikrokomputerowy system sterowania przemysłową linią próżniową do nanoszenia cienkich warstw metodą jonowego rozpylania magnetronowego
Microcomputer control system for an industrial, technological equipment for thin film deposition by means of the ion sputtering method - Autorzy:
-
Marszałek, K.
Dziadecki, A.
Żegleń, T. - Data publikacji:
- 2002
- Wydawca:
- Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
- Tematy:
-
mikrokomputerowy system sterowania
przemysłowa linia próżniowa
metoda jonowego rozpylania magnetronowego
microcomputer control system
technological equipment - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł