- Tytuł:
- Electronic Properties of Stacked ZrO₂ Films Fabricated by Atomic Layer Deposition on 4H-SiC
- Autorzy:
-
Król, K.
Kwietniewski, N.
Gierałtowska, S.
Wachnicki, Ł.
Sochacki, M. - Data publikacji:
- 2017-08
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
81.16.Pr
77.84.Bw
77.55.dj - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł