- Tytuł:
- Modification of Gate Dielectric in MOS Devices by Injection-Thermal and Plasma Treatments
- Autorzy:
-
Andreev, V.
Bondarenko, G.
Maslovsky, V.
Stolyarov, A. - Data publikacji:
- 2014-06
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
73.40.Qv
73.40.Gk - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł