- Tytuł:
-
Wpływ wygrzewania na właściwości sensorowe powłok TiOx wytworzonych metodą rozpylania magnetronowego
Influence of annealing temperature on sensing properties of TiOx thin films prepared by magnetron sputtering - Autorzy:
-
Kapuścik, Paulina
Mańkowska, Ewa
Wojcieszak, Damian - Data publikacji:
- 2022
- Wydawca:
- Wojskowa Akademia Techniczna im. Jarosława Dąbrowskiego
- Tematy:
-
inżynieria materiałowa
tlenek tytanu
cienka warstwa
rozpylanie magnetronowe
właściwości optyczne
właściwości sensorowe
materials engineering
titanium oxide
thin films
magnetron sputtering
optical properties
gas sensing properties - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł