- Tytuł:
- Design, Modeling and Simulation of MEMS Devices on Si, SiC, and Diamond for Harsh Environment Applications
- Autorzy:
-
Kociubiński, A.
Bieniek, T.
Janczyk, G. - Data publikacji:
- 2014-06
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
07.05.Tp
07.07.Df
62.20.-x
62.25.Fg - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł