- Tytuł:
- Challenges in ultrathin oxide layers formation
- Autorzy:
-
Beck, R.B.
Jakubowski, A.
Łukasiak, L.
Korwin-Pawłowski, M. - Data publikacji:
- 2001
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
silicon technology
oxidation
PECVD
RTO
gate oxide
ultrathin
layers - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł