- Tytuł:
-
Azotek krzemu stosowany w technologii planarnych fotodiod wykonanych na bazie InP
Silicon nitride for InP based planar photodiode applications - Autorzy:
-
Zynek, J.
Hejduk, K.
Klima, K.
Możdżonek, M.
Stonert, A.
Turos, A.
Rzodkiewicz, W. - Data publikacji:
- 2008
- Wydawca:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
- Tematy:
-
azotek krzemu
PECVD
fotodioda planarna
InP
silicon nitride
planar photodiode - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł