- Tytuł:
-
Model mikrokrzemowego czujnika z cewką planarną do pomiaru indukcji pola magnetycznego
Microsilicon sensor with planar coil for magnetic flux density measurements - Autorzy:
-
Prohuń, T.
Rybak, M. - Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
- Tematy:
-
MEMS
MOEMS
struktury krzemowe
pomiary indukcji magnetycznej
silicon microstructures
magnetic flux density measurements - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł