- Tytuł:
-
Spektroskopia emisyjna plazmy zasilanej impulsowo w trakcie magnetronowego rozpylania stopu Zn i Bi
Optical emission spectra of Zn and Bi in pulsed magnetron plasma - Autorzy:
-
Ziaja, J.
Ozimek, M. - Data publikacji:
- 2012
- Wydawca:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Elektrotechniki
- Tematy:
-
rozpylanie magnetronowe
spektroskopia emisyjna
linie emisyjne
plazma impulsowa
magnetron sputtering
optical spectroscopy
emission lines
pulsed plasma - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł