- Tytuł:
- Automation of thin film deposition process based on magnetron sputtering
- Autorzy:
-
Domanowski, P.
Wawrzak, A. - Data publikacji:
- 2012
- Wydawca:
- Wrocławska Rada Federacji Stowarzyszeń Naukowo-Technicznych
- Tematy:
-
production automation
magnetron flow production line - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł