- Tytuł:
-
Convergence of iterative solvers for non-linear step-and-flash imprint lithography simulations
Zbieżność solwerów iteracyjnych dla nieliniowych symulacji procesu nanolitografii przez naświetlanie i wyciskanie - Autorzy:
- Paszyński, M.
- Data publikacji:
- 2011
- Wydawca:
- Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie. Wydawnictwo AGH
- Tematy:
-
solwery iteracyjne
problemy nieliniowe
symulacje nanolitografii
non-linear problems
iterative solvers
Step-and-Flash Imprint Lithography - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł