- Tytuł:
- Oxidation kinetics of silicon strained by silicon germanium
- Autorzy:
-
Grabowski, J.
Beck, R. B. - Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
oxidation
kinetics
modeling
silicon
silicon-germanium - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł