- Tytuł:
- Design and simulation analysis of an integrated xyz micro-actuator for controlling displacement of a scanning probe
- Autorzy:
-
Dang, Van Hieu
Le, Van Tam
Hane, Kazuhiro
Chu, Manh Hoang - Data publikacji:
- 2021
- Wydawca:
- Polskie Towarzystwo Mechaniki Teoretycznej i Stosowanej
- Tematy:
-
integrated xyz micro-actuator
mode cross-talk
mechanical coupling bridge
electrical isolation trench - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł